Pintakäsittely huippuluokan sähköstaattiseen istukkaan

Thesähköstaattinen istukkasuorittaa useita toimintoja, kuten tasaisen sähköstaattisen purkauksen, lämmönjohtavuuden ja kiekkojen adsorption ja kiinnityksen puolijohteiden valmistuksen alalla. Yksi ESC:n ydintehtävistä on adsorboida kiekkoja vakaasti äärimmäisissä käyttöolosuhteissa, kuten suuressa tyhjiössä, vahvassa plasmassa ja laajalla lämpötila-alueella.

Niiden suorituskyvyn määrää ei todellakaan ulkoinen rakenne tai perusmateriaalikaava, vaan pintakäsittelyprosessi. Ilman ammattimaista pintakäsittelyä käytön aikana kohdataan seuraavat ongelmat:

1. Plasman eroosio ja metalli-ionikontaminaatio

Suojaamattomat keraamiset pinnat ovat herkkiä plasmaeroosiolle etsaus- tai CVD-prosessin asetuksissa. Tämäntyyppinen eroosio voi suoraan johtaa metalli-ionien vapautumiseen tai keraamisten hiukkasten irtoamiseen, mikä saastuttaa kiekon.

2. Epätasainen lämmönjohtavuus ja vääntymisen muodonmuutos

Karkeat pinnat tai huono käsittely johtavat epätasaiseen kosketukseen kiekon ja levyn välilläESC, mikä estää lämmön johtumisen ja vaikuttaa CD-levyn tasaisuuteen.

3. Epävakaa sähköstaattinen adsorptio

suorittaa useita toimintoja, kuten tasaisen sähköstaattisen purkauksen, lämmönjohtavuuden ja kiekkojen adsorption ja kiinnityksen puolijohteiden valmistuksen alalla. Yksi ESC:n ydintehtävistä on adsorboida kiekkoja vakaasti äärimmäisissä käyttöolosuhteissa, kuten suuressa tyhjiössä, vahvassa plasmassa ja laajalla lämpötila-alueella.

Huippuluokan ESC:iden pinnalla on usein monikerroksinen komposiittirakenne, joka säätelee tarkasti toiminnallisia alueita pinnoitteiden avulla todellisen korkean suorituskyvyn integroinnin saavuttamiseksi.

Huippuluokan ESC:iden yleiset pintakäsittelytekniikat:

1. Tarttumattomat fluoripolymeeripinnoitteet (kuten PTFE ja PFA)

Tällainen pinnoite soveltuu erityisen hyvin matalalämpöisiin prosessiympäristöihin alhaisen pintavapaan energiansa vuoksi, mikä estää tehokkaasti fotoresistijäämien adsorption.

2. Diamond-Like Carbon (DLC) -pinnoitteet

Korkean kovuuden, plasmakestävyyden ja alhaisen kitkakertoimen ansiosta ne soveltuvat eroosion ja hiukkasten irtoamisen estoon etsauslaitteissa.

3. PVD-johtavat keraamiset kalvot (kuten CrSiN ja TiN)

Tämäntyyppinen pinnoite voi rakentaa vakaan johtavan reitin tietylle alueelle ja siten tehokkaasti välttää paikallisen varauksen kertymisen ongelman ohjaamalla tarkasti pintavarausten tasaista purkausta.

4.Lämpöä johtavat komposiittipinnoitteet (kuten timanttijauhe- ja fluoripolymeerihybridipinnoite)

Tällaisessa pinnoitteessa yhdistyvät tarttumattomat ominaisuudet lämmönjohtavuuteen, ja sen kokonaissuorituskyky voi vastata tarkasti korkean tarkkuuden lämpöohjauksen ESC:n käyttövaatimuksia.