Suurimmat keraamiset komponentit puolijohteiden valmistuksessa

Puolijohdevarusteet koostuvat kammioista ja kammioista, ja suurin osa keramiikasta käytetään kammioissa lähempänä kiekkoja. Keraamiset osat, jotka ovat tärkeitä komponentteja, joita käytetään laajasti ydinlaitteiden onteloissa, ovat puolijohdekomponentteja, jotka on valmistettu tarkkuuskäsittelyn avulla edistyneillä keraamisilla materiaaleilla, kuten alumiinioksidikeramiikoilla, alumiininitridikeramiikoilla ja piilarbidikeramiikalla. Edistyneiden keraamisten materiaalien suorituskyky on erinomainen lujuus, tarkkuus, sähköiset ominaisuudet ja korroosionkestävyys, ja ne voivat täyttää puolijohdevalmistuksen monimutkaiset suorituskykyvaatimukset erityisissä ympäristöissä, kuten tyhjössä ja korkeassa lämpötilassa. Puolijohdelaitteiden edistyneitä keraamisia materiaalikomponentteja käytetään pääasiassa kammioissa, ja jotkut niistä ovat suorassa kosketuksessa kiekkoon. Ne ovat keskeisiä tarkkuuskomponentteja integroidussa piirin valmistuksessa ja ne voidaan jakaa viiteen luokkaan: rengasmaiset sylinterit, ilmavirtaoppaat, kuormitus- ja kiinteät tyypit, tarttuja tiivisteet ja moduulit. Tämä artikkeli puhuu pääasiassa ensimmäisestä luokasta: rengasmaiset sylinterit.

Renkaat ja sylinterit

1. Moiré -renkaat: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa. Prosessikammiossa sijaitsevat ne ovat suorassa kosketuksessa kiekkoon, mikä parantaa kaasun ohjausta, eristystä ja korroosionkestävyyttä.

2. Vartija -renkaat: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa ja etcherissä. Prosessikammiossa sijaitsevat ne suojaavat avainmoduulikomponentteja, kuten sähköstaattinen istukka ja keraaminen lämmitin.

3. Edosormukset: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa ja etcherissä. Prosessikammiossa sijaitsevat ne vakauttavat ja estävät plasman pakenemisen.

4. Keskittymisrenkaat: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa, Etcher- ja ionin implantointilaitteissa. Prosessikammiossa sijaitsevat ne ovat alle 20 mm: n päässä kiekosta, keskittyen plasmaan kammion sisällä.

5. Suojakuoret: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa ja etcherissä. Prosessikammiossa sijaitsevat ja absorboivat prosessijäämiä.

6. Maadoitusrenkaat: Käytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa ja etcherissä. Kammion ulkopuolella sijaitsevat ne kiinnittävät ja tukevat komponentteja.

7. Liner: Ensisijaisesti käytettynä prosessikammiossa sijaitsevissa etchereissä se parantaa kaasun ohjausta ja varmistaa yhtenäisemmän kalvon muodostumisen.

8. Eristyssylinteri: Käytetään ensisijaisesti ohutkalvojen laskeutumislaitteissa, etsijät ja ioni -implantereissa, se sijaitsee prosessikammiossa ja parantaa laitteen lämpötilanhallinnan suorituskykyä.

9. Termoelementtien suojausputki: Ensisijaisesti erilaisissa puolijohde-etulaitteissa se sijaitsee kammion ulkopuolella ja suojaa lämpöparia suhteellisen stabiilissa lämpötilassa ja kemiallisessa ympäristössä.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistakeraamiset tuotteetpuolijohteessa. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com