Johtavat päällystetyt grafiitilämmittimet

Sejohtava päällystetty grafiitilämmitinon uusi tuote, joka on suunniteltu korkean lämpötilan puolijohde- ja muihin tyhjiölämpöjärjestelmiin. Siinä käytetään korkean puhtauden grafiitin hyvää lämpöstabiilisuutta ja piikarbidi (sic) pinnoitteen erinomaisia pintaominaisuuksia. Johtava päällystetty grafiittilämmitin erotetaan edelleen typpeostettuna sic-kerroksella, joka tarjoaa huomattavasti parannettua pinnan johtavuutta, mikä tekee siitä erityisen hyvin soveltuvan sovelluksiin, jotka tarvitsevat hallittua ja jopa lämmitystä suurella sähkösuorituskyvyllä.

Lämmitin on rakennettu erittäin luja grafiittisubstraatilla, joka toimii ydin- ja lämpöjohtimena. Grafiitti valittiin erityisesti sen korkean lämmönjohtavuuden, alhaisen lämmön laajennuskerroin ja kestävyyden lämpö sokkiin. Nämä ominaisuudet tekevät grafiitista sopivan perusmateriaalin korkean lämpötilan prosessisovelluksissa, joissa voi olla nopeaa lämmitys- ja jäähdytyssyklejä. Itse koskematon grafiitti on kuitenkin kemiallisesti reaktiivista tietyissä ilmakehissä ja voi kokea pintavaurioita tai hajoamista, hiukkasten emissiota tai siirtymistä laajennetun käytön aikana, etenkin puolijohdehuoneissa.

Näiden rajoitusten ratkaisemiseksi grafiittiosa on päällystetty paksulla, korkealla, SIC-kerroksella. SIC -pinnoite palvelee useita toimintoja: se tarjoaa suojan hapettumiselta ja kemialliselta korroosiolta, se tarjoaa erittäin kovan, kulutuskestävän pinnan ja varmistaa yhteensopivuuden tyhjiö- ja puhdashuoneiden standardien kanssa. SIC: llä on maine äärimmäisestä kovuudesta, korkeasta lämmönjohtavuudesta ja kemiallisesta inertistä; Tästä syystä se on erinomainen pinnoitusmateriaali korkean suorituskyvyn lämpökomponenteille.

Tämän tuotteen ainutlaatuinen innovaatio on sic -pinnoitteen typen doping. Kemiallisen höyryn laskeutumisprosessin (CVD) aikana typpiatomit upotetaan sic -hilaan, tuottaen vapaat kantajat, mikä voi dramaattisesti vähentää sen pintaresistiivisyyttä ja luoda siksi johtava pintakerros ja antaa virran kulkea suoraan sen sijaan, että käyttäisi tukiasemaa sic -pinnoitteen kautta, jolloin koko grafiittikomponentti on resistenttisen lämmityselementin kautta.

KlassinenSic -pinnoitteetovat eristäviä, mikä todella rajoittaa ne aktiivisten sähkösovellusten laajuuteen. Päinvastoin, lämmittimen typpiseostetulla sic-kerroksella on erittäin alhainen pintakestävyys säilyttäen samalla klassisen sic: n kaikki mekaaniset ja kemialliset edut. Johtava kerros tarjoaa erittäin hyvän virran yhdenmukaisuuden ja minimoi tehonhäviöt parantaen samalla lämmönjakaumaa lämmittimen pinnalla. Se on erityisen ihanteellinen tarkkuuslämmityssovelluksiin olosuhteissa, jotka liittyvät usein epitaksiaalireaktoreihin, diffuusiouuneihin ja nopeaan lämpökäsittelylaitteeseen (RTP).

Lämmittimen geometria, tyypillisesti spiraali tai serpentiini, kuten kuvassa on esitetty, on suunniteltu ja optimoitu tarkoituksella tuottaa tasainen lämmönlähtöenergia ja tasainen sähkökuorma. Grafiitin ja johtavan sic -pinnoitteen integroidun suunnittelun avulla sähköiset koskettimet voidaan tehdä suoraan päällystetylle pinnalle, joka eliminoi lisäelektrodien tai metalliyhteyden tarpeen. Tämä vähentää saastumisriskejä ja johtaa yksinkertaisempaan kokoonpanoon. Tämän seurauksena yleinen tehokkuus paranee.

Johtavaan tärkeimmät edutSic-päällystetty grafiitilämmitinSisältää:

Erinomainen sähkönjohtavuus typen seostamisesta, mikä mahdollistaa suoravirran virtauksen ja tehokkaan resistiivisen lämmityksen.

Ylivoimainen lämmön tasaisuus tarkan lämpötilan hallinnan kanssa koko pinta -alalla.

Korkea kemiallinen resistenssi, etenkin syövyttävissä ympäristöissä, kuten vety, ammoniakki tai halogeenirikkaat ilmakehät.

Pienimäiset hiukkasten luominen, puolijohteiden valmistuksen tiukat puhtausvaatimukset.

Pitkäaikainen käyttöikä sekä grafiittisydämen että sic -pinnoitteen mekaanisen kestävyyden ja lämpöiskiskestävyyden vuoksi.

Tämän lämmittimen sovellukset ulottuvat useille edistyneille teknologiateollisuudelle. Lämmitin löytää paikan puolijohteiden valmistusprosesseissa, kuten kemiallisen höyryn laskeutumisessa (CVD), molekyylisäteen epitaksissa (MBE) ja kiekkojen hehkutus, missä materiaalien tarkka lämpötilan hallinta ja puhtaus ovat kriittisiä. SIC-päällystettyä grafiittilämmitintä voidaan käyttää myös aurinkosähkötuotannossa, edistyneen keramiikan sintraamisessa ja muissa lämpöprosesseissa, joissa vaaditaan suurempi suorituskyky, kestävyys ja vankka lämmittimet.

Yhteenvetona voidaan todeta, että johtava sic-päällystetty grafiittilämmitin on vaikuttava eteneminen lämpökomponenttien kehittämisessä. Käyttämällä typpe-seostettua sic-pinnoitetta, olemme kehittäneet tehokkaan lämpötuotteen, joka yhdistää onnistuneesti sic-pinnoitteen kemiallisen stabiilisuuden sähkönjohtavuuteen. Siten tuottaminen lämpöprosessi, joka on tehokkaampi, puhtaampi ja luotettavampi vaativimmille teollisuussovelluksille. Puolijohde- ja materiaaliteollisuus kohtaavat jatkuvat muutokset, ja tällaiset hybridimateriaalit ovat yhä tärkeämpiä tulevaisuuden edistyneempien tekniikoiden mahdollistamisessa.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistagrafiitilämmittimet pinnoitteellaTuotteet. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com