Esittely alumiinioksidimateriaalista

AlumiiniohjelmaKomponenteilla on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea kovuus, korkea mekaaninen lujuus, superkulutuskestävyys, korkea lämpötilan vastus, korkea resistiivisyys ja hyvä sähköeristyssuorituskyky. Ne voivat täyttää puolijohteiden valmistuksen monimutkaiset suorituskykyvaatimukset erityisympäristöissä, kuten tyhjiössä ja korkeassa lämpötilassa. Niillä on korvaamaton ja tärkeä rooli puolijohteiden valmistustuotantolinjoissa. Niiden sovellukset kattavat melkein kaikki puolijohteiden valmistuslaitteet ja ovat puolijohteiden tuotantolaitteiden avainkomponentteja. Puolijohdeteollisuuden jatkuvan kehityksen myötä alumiinioksidikeraamisten komponenttien merkitys teollisuusketjussa tulee näkyvämmäksi.

Kun siruominaisuuden koko pienenee, puolijohdealaitteilla on tiukempia vaatimuksia komponenteille, ja sen tiheyden, tasaisuuden, korroosionkestävyyden jne. Vaaduvat korkeammat. Viime vuosina kotimaiset ja ulkomaiset tutkijat ovat kehittäneet erilaisia uusia prosesseja alumiinioksidien keraamisten materiaalien sintrausolosuhteiden parantamiseksi, jotta ne voisivat saavuttaa materiaalien nopean tiheyden alemmassa sintrauslämpötilassa, kuten itsensä etenemisen korkean lämpötilan sintraus, salama sintraus, kylmän sintraus ja heilahtava paineen sintraus. Niiden joukossa kylmä sintraus on lisätä ohimenevä liuotin jauheeseen ja kohdistaa suuri paine (350 ~ 500MPA) hiukkasten uudelleenjärjestelyn ja diffuusion parantamiseksi, jotta keraaminen jauhe voidaan sintra ja tiheys alhaisemmassa lämpötilassa (120 ~ 300 ℃) ja lyhyempi aika.

Tällä hetkellä globaali integroitu piirin valmistusprosessi on kehittynyt edistyneemmäksi prosessiin 3-nanometrin tasolla. Puolijohdelaitteet ja puolijohdelaitteet tarkkuuskomponentit on jatkuvasti kehitettävä ja päivitettävä, ja prosessiparannuksia on tehtävä vastavirran valmistustarpeiden tyydyttämiseksi. Kun puolijohdelaitteet on päivitetty, komponenttien uusien laitteiden erityisvaatimukset muuttuvat synkronisesti. Puolijohdeteknologian kehittymisen myötä alumiinioksidikeraamisten komponenttien suorituskykyvaatimukset ovat korkeammat ja korkeammat, mukaan lukien korkeampi kulutuskestävyys, korkea lämpötilankestävyys ja parempi sähköeristys. Teollisuuden suuntauksilla on taipumus kehittää suurempaa puhtautta, hienompaa alumiinioksidijauhemateriaalia ja omaksua edistyneitä valmistustekniikoita.

Alumiinioksidikeramiikkaon erittäin korkea puhtaita vaatimuksia, kun niitä käytetään puolijohde -kentällä, yleensä yli 99,5%. Puolijohdekentällä alumiinioksidi -keraamiset osat ovat yksi puolijohdelaitteiden keskeisistä osista. Suurin osa niistä käytetään kammioissa lähempänä kiekkoa. Puolijohdelaitteissa ne luokitellaan käytön mukaan ja ne on jaettu pääasiassa rengasmaisiin sylintereihin, ilmavirtaoppaisiin, kuormituskantaisiin kiinteisiin, käsin tarttuviin tiivisteisiin, moduuleihin jne.

Satching-prosessissa kiekon saastumisen vähentämiseksi plasman etsauksen aikana, korkean puhtaan alumiinioksidipinnoitteet tai alumiinioksidikeramiikka, jolla on vahva korroosionkestävyys, suojaavina materiaaleina syövytyskammiolle ja kammion vuoraukseen.

Plasmanpuhdistusprosessissa käytetään syövyttäviä kaasuja, jotka sisältävät erittäin reaktiivisia halogeenielementtejä, kuten fluoria ja klooria. Kaasusuutin on yleensä valmistettu alumiinioksidikeramiikasta, joiden on oltava korkea plasmankestävyys, dielektrinen lujuus ja voimakas korroosionkestävyys prosessin kaasu- ja sivutuotteille. Samanaikaisesti sisäistä tarkkuusreiän rakennetta käytetään kaasun virtauksen tarkkaan.

Puolijohteiden valmistusprosessissa kiekko voi suorittaa korkean lämpötilan käsittelyn, kuten etsaus, ionin implantointi jne. Kannonsiirron kantoaallon operaattorina, alumiinioksidi-kiekko-kantoaalto voi varmistaa kiekon vakauden ja turvallisuuden siirtoprosessin aikana. Alumiinioksidilla kiekko -kantajalla on hyvä lämmönjohtavuus, ja se voi tehokkaasti hajonnut ja viedä kiekon tuottaman lämmön, suojaamalla siten kiekoa lämpövaurioilta.

Kohteiden käsittelyssä käytetään keraamista robottivarteen, joka on valmistettu alumiinioksidikeramiikasta. Se asennetaan kiekkojen käsittelyrobottiin, joka vastaa robotin kättä. Se vastaa kiekon kuljettamisesta nimetylle sijainnille, ja sen pinta on suorassa kosketuksessa kiekon kanssa. Koska kiekot ovat erittäin alttiita muiden hiukkasten saastumiselle, ne suoritetaan yleensä tyhjiöympäristössä. Tässä ympäristössä useimpien materiaalien robottivarret ovat yleensä vaikeaa suorittaa työtä. Robottivarsien valmistukseen käytettyjen materiaalien on oltava kestäviä korkeita lämpötiloja, kuluen kestäviä ja korkea kovuus. Työolosuhteiden vaatimusten vuoksi ne tehdään yleensä erittäin puhtaista alumiinioksidien keraamisista materiaaleista, ja keraamisten osien tarkkuus ja pinnan karheus on taata.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaAlumiinioksidi -keraamiset osatPuolijohteessa, mukaan lukien sic -pinnoitteet ja TAC -pinnoitteet. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com