Keraamiset lämmittimet

Puolijohdevalmistuksen käyttöliittymässä (FEOL),vohveliOn altistettava erilaisia ​​prosessikäsittelyjä, etenkin kiekko on lämmitettävä tiettyyn lämpötilaan, ja on tiukat vaatimukset, koska lämpötilan yhtenäisyydellä on erittäin tärkeä vaikutus tuotteen satoon; Samanaikaisesti puolijohdelaitteiden on työskenneltävä tyhjiö-, plasma- ja kemiallisten kaasujen läsnä ollessa, mikä vaatii keraamisten lämmittimien käyttöä.Keraamiset lämmittimetovat puolijohteiden ohutkalvojen laskeutumislaitteiden tärkeitä komponentteja. Niitä käytetään prosessikammiossa ja koskettaa kiekkoa suoraan kiekon kuljettamiseksi ja mahdollistamiseksi saamaan vakaan ja tasaisen prosessin lämpötilan ja reagoida kiekon pinnalla erittäin tarkkuus ohuiden kalvojen tuottamiseksi.

Koska keraamisten lämmittimien käyttämät ohutkalvon laskeutumislaitteet sisältävät korkeat lämpötilat, pääasiassa alumiininitridiin (ALN) perustuvia keraamisia materiaaleja käytetään yleensä. Koska alumiininitridi on sähköeristys ja erinomainen lämmönjohtavuus; Lisäksi sen lämpölaajennuskerroin on lähellä piitä, ja sillä on erinomainen plasmankestävyys, se on erittäin sopiva käytettäväksi puolijohdelaitteiden komponenttina.

Sähköstaattisia istukkioita (ESC) käytetään pääasiassa etsauslaitteisiin, pääasiassa alumiinioksidiin (AL2O3). Koska itse sähköstaattinen istukka sisältää myös lämmittimen, ottaen esimerkin kuivan syövytyksen, on välttämätöntä hallita kiekko tietyssä lämpötilassa -70 ℃ ~ 100 ℃ tietyn etsausominaisuuden ylläpitämiseksi. Siksi sähköstaattinen istukka on lämmitettävä tai hävitettävä kiekkojen lämpötilan tarkkaan. Lisäksi kiekkopinnan tasaisuuden varmistamiseksi sähköstaattisen istukan on usein nostettava lämpötilan säätövyöhyke kunkin lämpötilan säätövyöhykkeen lämpötilan hallitsemiseksi erikseen prosessin saannon parantamiseksi. Tietenkin tekniikan kehityksen myötä perinteisten keraamisten lämmittimien ja sähköstaattisten istukkaiden välinen ero on alkanut hämärtyä. Joillakin keraamisilla lämmittimillä on kaksoiskäyttöiset lämmityksen ja sähköstaattisen adsorption.

Keraamiseen lämmitin sisältää keraamisen pohjan, joka kantaa kiekoa ja lieriömäistä tukielimiä, joka tukee sitä takana. Keraamisen emäksen sisällä tai pinnalla, vastuselementin (lämmityskerros) lisäksi kuumennusta varten on myös radiotaajuuselektrodi (radiotaajuuskerros). Nopean lämmityksen ja jäähdytyksen saavuttamiseksi keraamisen pohjan paksuuden tulisi olla ohut, mutta liian ohut vähentää myös jäykkyyttä. Lämmittimen tukirunko on yleensä valmistettu materiaalista, jonka lämpölaajennuskerroin on samanlainen kuin pohjan, joten tukirunko on usein myös alumiininitridistä. Lämmitin omaksuu akselin (akselin) nivelen ainutlaatuisen rakenteen pohjassa, joka voi suojata napit ja johdot plasman ja syövyttävien kemiallisten kaasujen vaikutuksilta. Tukirungossa on lämmönjohtavuuskaasun sisääntulo- ja poistoputki lämmittimen tasaisen lämpötilan varmistamiseksi. Pohja ja tukiryhmä on sidottu kemiallisesti sidoskerrokseen.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistakeraamiset lämmittimet. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com