Puolijohdekeraamiset osat

Puolijohdekeraamiset osat kuuluvat edistyneeseen keramiikkaan ja ovat välttämätön osa puolijohteiden valmistusprosessia. Raaka-aineet valmistelua varten ovat yleensä erittäin puhtaita, erittäin hienoja epäorgaanisia materiaaleja, kuten alumiinioksidia, piiharbidia, alumiininitridiä, piinitridiä, yttriumoksidia, zirkoniumoksidia jne.

Alumiinioksidi

Sitä käytetään laajasti, ja tuotteen suorituskyky vaihtelee puhtauden mukaan. 95%: n puhtaus on vaaleankeltainen ja 99% puhtaus on lumivalkoinen. Sillä on erinomainen jäykkyys, lujuus, kulutuskestävyys, korkean lämpötilankestävyys ja korroosionkestävyys, ja sitä voidaan käyttää useimpien puolijohteiden keraamisten osien, kuten keraamisten suuttimien, keraamisten aseiden jne. Valmistamiseen

Piikarbidi

Se on musta, siinä on korkea lämmönjohtavuus, korkea lujuus ja kovuus, kevyt, hyvä iskunkestävyys, ja sitä käytetään usein tyhjiövarsien ja tyhjiöiden imukuppien valmistamiseen.

Alumiininitridi

Sillä on korkea lämmönjohtavuus, lämpölaajennuskerroin, joka vastaa piitä, matala dielektristä vakio- ja dielektristä häviämistä, ja sitä voidaan käyttää lämmön hajoamisen substraattien, keraamisten suuttimien jne. Valmistamiseen jne.

Piinitridi

Korkea sulamispiste, erittäin korkea kovuus, korkea kemiallinen inertti, alhainen lämmön laajennuskerroin, korkea lämmönjohtavuus, hyvä lämmönsimunkestävyys, suuri iskunkestävyys ja lujuus alle 1200 ℃, jota käytetään usein keraamisten substraattien, keraamisten putkien jne. Valmistamiseen jne.

Yttriumoksidi

Korkea sulamispiste, hyvä kemiallinen ja fotokemiallinen stabiilisuus, korkea lämmönjohtavuus, hyvä valon läpäisevyys, usein yhdistettynä alumiinioksidiin keraamisten ikkunoiden valmistamiseksi.

Zirkoniumoksidi

Korkea mekaaninen lujuus, korkean lämpötilan vastus, happo- ja alkaliresistenssi, hyvä eristys, eri pitoisuuden mukaan voidaan tehdä keraamisia tuotteita eri tarkoituksiin, kuten integroidut piirisubstraatit jne.

Osien tyypit:

"Kaiken kaikkiaan" puolijohdekeraamisia osia, joilla on erilaisia ​​toimintoja, käytetään laajasti erityyppisissä puolijohde-avainlaitteissa, mukaan lukien seuraavat:

Puolijohde keraaminen käsivarsi

On rooli puolijohdelaitteissa kiekkojen kuljettamisessa, ja sen on työskenneltävä tyhjiöpuhdasympäristössä. Yleensä valmistettu korkea-alumiinioksidi- tai piikarbidilla, alumiinioksidilla on kustannustehokas ja sitä käytetään enemmän.

Keraaminen substraatti

Levitetään erilaisilla elektronisilla pakkauskentällä, kuten sähköelektronisilla laitteilla, lasereilla jne., Ja se on usein valmistettu materiaaleilla, kuten alumiinioksidilla ja pii -nitridillä.

Keraaminen suutin

HDP-CVD: ssä sen laatu vaikuttaa reaktiokaasun puhtauteen ja virtausnopeuteen. Alumiininitridikeramiikka sopii paremmin edistyneisiin prosessilaitteisiin niiden erinomaisen suorituskyvyn vuoksi.

Keraaminen ikkuna

Se on puolijohde -etcherin avainkomponentti. Se voidaan tyhjiö suljettu vaikuttamatta plasman tunkeutumiseen. Se on yleensä valmistettu korkean puhtaan alumiinioksidista ja yttriumoksidista.

Keraaminen kammion kansi

Se on avainkomponentti ohutkalvojen laskeutumislaitteissa, mikä on ratkaisevan tärkeää kiekon laadun ja reaktiokammion tiivistyksen varmistamiseksi.

Keraaminen tyhjiö

Sitä käytetään piin kiekon sijoittamiseen ja puristamiseen. Se on huokoinen keraaminen, joka on valmistettu kahdesta keraamisesta materiaalista.

Valmistusprosessi:

"Käsityötaidon" puolijohdekeraamisten osien valmistusprosessi on monimutkainen, pääasiassa seuraavat vaiheet:

Jauhevalmistus

Raaka -aineet on tarkistettava uudelleen, ja vaatimukset täyttävä raakajauhe saadaan erällä, mekaanisella pallojauholla, ruiskukuivauksella ja muilla prosesseilla.

Jauhekasvatus

Kuiva puristus, isostaattinen puristus, teippivalu, injektiomuovaus, geeli -injektiomuovaus ja muut menetelmät käytetään yleisesti jauheen valmistukseen keraamiseen vihreään runkoon.

Korkean lämpötilan sintraus

Keraaminen vihreä runko muuttuu tiheäksi keitetyksi runkoksi normaalin paineen sintrauksen, tyhjiön sintrauksen, ilmakehän sintrauksen ja muiden menetelmien avulla.

Tarkkuuskone

Sintroitu keraaminen keitetty runko on käsitelty CNC -sorvilla, hiomakoneilla jne. Vaaditun koon ja tarkkuuden saavuttamiseksi.

Laatutarkastus

Keraamisten osien ulkonäkö, koko, huokoisuus, karheus ja muut ominaisuudet testataan tuotteen laadun varmistamiseksi.

Pintakäsittely

Laatutarkastuksen läpäisevän tuotteiden pinta puhdistetaan, ja erityistarpeisiin tarvitaan lisäpintakäsittely, kuten kaarisuihkutus, plasmasuihkutus jne.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistakeraamiset osatpuolijohteessa. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com