Sisäinen ohjausputki

Semicorex Inner Guide Tube on tarkasti suunniteltuhiili/hiili (C/C) -komponenttisuunniteltu edistyneisiin korkean lämpötilan lämpökenttäsovelluksiin, erityisesti erittäin puhtaiden piikiteiden kasvatukseen. Tämä komponentti on kriittinen elementti kiteenkasvatusuuneissa ja sillä on keskeinen rooli lämpögradientin muotoilussa ja stabiloinnissa, mikä varmistaa optimaalisen kiteen muodostumisen ja tasaisen materiaalin laadun.

Valmistettu tiheästi hiilikuituvahvistetusta hiilikomposiitista, Inner Guide Tube tarjoaa poikkeuksellisen rakenteellisen eheyden ja lämpöstabiilisuuden äärimmäisissä olosuhteissa. Sen tiheys on ≥1,35 g/cm³ ja taivutuslujuus ≥110 MPa, joten se säilyttää mekaanisen kestävyyden myös pitkäaikaisen altistuksen aikana korkeille lämpötiloille. Nämä ominaisuudet ovat välttämättömiä puolijohdelaatuisen piin tuotannossa, jossa pienetkin lämpöolosuhteiden vaihtelut voivat vaikuttaa merkittävästi kiteiden tasaisuuteen ja vikojen määrään.

Ydintoiminto: Tarkkuus gradientin ohjaus

C/C Inner Guide -putken ensisijainen tehtävä on rakentaa tarkka gradienttilämpötilakenttä. Piikiteiden kasvatusprosessin aikana se sijoitetaan suoraan sulatteen yläpuolelle:

Suora kaasuvirtaus: Se ohjaa inertin argonkaasun virtausta varmistaen, että piioksidi (SiO) -höyryt pyyhkäistään tehokkaasti pois sulapinnalta, mikä estää happikontaminaation kiteessä.

Lämpösuojaus: Se suojaa kasvavaa kristallia suoralta lämpösäteilyltä upokkaan seiniltä ja muodostaa jyrkän aksiaalisen lämpötilagradientin, joka on tarpeen nopeaan, korkealaatuiseen kiteen vetoon.

Energiatehokkuus: Keskittämällä lämpöä sulamisvyöhykkeelle ja eristämällä uunin yläosat, se vähentää merkittävästi kokonaisvirrankulutusta.

Tekniset tiedot ja materiaalien laatu

Sisäiset ohjausputket on valmistettu korkeatiheyksistäHiili/hiilikomposiitit, joka tarjoaa erinomaisen vaihtoehdon perinteiselle grafiitille. Materiaalin ominaisuudet on optimoitu puolijohdetyhjiöuunien äärimmäisiin olosuhteisiin:

Tiheys: ≥ 1,35 g/cm³

Taivutuslujuus: ≥ 110 MPa

Lämpölaajenemiskerroin (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Lämmönjohtavuus (huoneen lämpötila): ≤ 10 W/(m·K)

Teollisuus

Teollisuuden siirtyessä kohti suurempia kiekkokokoja (300 mm ja 450 mm), lämpökentän vaatimukset kasvavat eksponentiaalisesti. Inner Guide -putkemme ovat yhteensopivia tärkeimpien CZ-uunimerkkien kanssa, ja ne voidaan räätälöidä geometrian ja pinnoitteen suhteen.