Semicorex Graphite Heater For Hot Zone, jotka on suunniteltu toimimaan luotettavasti korkean lämpötilan uuneissa, on suunniteltu kestämään haastavia olosuhteita, jotka ovat ominaisia prosesseille, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), epitaksi ja korkean lämpötilan hehkutus. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn grafiittilämmittimen kuumalle alueelle, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.**
Homogeeninen lämpötilan jakautuminen:Graphite Heater For Hot Zone tunnetaan yhtenäisistä kuumennusominaisuuksistaan, jotka saavutetaan huolellisen materiaalinkäsittelyn ja tarkan koneistuksen yhdistelmällä. Tämä homogeenisuus varmistaa tasaisen lämpötilaprofiilin koko lämmityspinnalla ja minimoi lämpögradientteja, jotka voivat johtaa epätasaiseen kiekkojen käsittelyyn, pienentyneeseen saantoon ja epäjohdonmukaiseen laitteen suorituskykyyn.
Poikkeuksellinen korroosionkestävyys:Grafiittilämmitin kuumalle vyöhykkeelle osoittaa huomattavaa kestävyyttä useille syövyttäville kaasuille ja kemikaaleille, joita tavataan yleisesti korkean lämpötilan puolijohteiden käsittelyssä. Tämä luontainen inertiteetti varmistaa lämmittimen pitkän aikavälin vakauden ja suorituskyvyn, minimoi kontaminaatioriskit ja pidentää käyttöikää.
Erinomainen hapettumisenkestävyys:Toisin kuin perinteinen grafiitti, Graphite Heater For Hot Zone tarjoaa erinomaisen hapettumisenkestävyyden jopa korkeissa lämpötiloissa. Tämä ominaisuus on ratkaisevan tärkeä lämmittimen eheyden säilyttämiseksi ja hiukkaskontaminaation muodostumisen estämiseksi käsittelykammiossa.
Erittäin korkea kemiallinen puhtaus:Graphite Heater For Hot Zone prosessoidaan erittäin korkean puhtaustason saavuttamiseksi, mikä minimoi riskin, että ei-toivotut epäpuhtaudet pääsevät puolijohteiden käsittelyympäristöön. Tämä poikkeuksellinen puhtaus on välttämätöntä herkkien puolijohdemateriaalien eheyden säilyttämiseksi ja valmistettujen laitteiden haluttujen sähköisten ja optisten ominaisuuksien varmistamiseksi.
Suuri mekaaninen lujuus ja vakaus:Grafiittilämmittimellä kuumalle vyöhykkeelle on erinomainen mekaaninen lujuus ja mittastabiilius korkeissa lämpötiloissa, mikä mahdollistaa kestävien lämmitinkomponenttien valmistuksen, jotka kestävät korkeita lämpötiloja, mukaan lukien lämpökierto ja mekaaninen rasitus.