Grafiittielektrodi

Semicorex Graphite Electrode on erittäin puhdas, tarkasti valmistettu grafiittikomponentti käytettäväksi puolijohteiden lämpösovelluksissa, joissa sähkönjohtavuus, lämpöstabiilisuus ja mittatarkkuus ovat ensiarvoisen tärkeitä. Itse asiassa tämän tyyppisiä elektrodeja käytetään korkean lämpötilan uuneissa, epitaksireaktoreissa ja lämpökäsittelykammioissa, mikä helpottaa vakaata virran johtamista, lämmönsiirtoa ja vakautta aggressiivisissa lämpötila- ja ilmakehän olosuhteissa. Semicorex Graphite Electrodesin äärimmäisen puhtauden, kiinteän rakenteen tasaisuuden ja korkeiden mekaanisten ominaisuuksien ansiosta ne voivat tarjota luotettavan lämpösuorituskyvyn lämmityselementteinä vaativissa puolijohdesovelluksissa.

Käytetäänpä sitten diffuusiouuneissa, epitaksiaalisissa reaktoreissa tai korkean lämpötilan prosessointilaitteissa, Semicorex Graphite Electrode tarjoaa vertaansa vailla olevan suorituskyvyn vaativimmissa lämpöympäristöissä. Yhdistämällä korkean puhtauden, tarkan geometrian ja edistyneen materiaalinkäsittelyn Semicorex toimittaa elektrodiratkaisun, joka varmistaa vakaan virranjohtavuuden, tasaisen lämmityksen ja pitkän aikavälin toimintavarmuuden, jotka ovat välttämättömiä seuraavan sukupolven puolijohteiden valmistuksessa.

Ultra Performance meidängrafiitti

Grafiittimme takaa erinomaisen suorituskyvyn tasaisuuden. Ensinnäkin hiiltymisprosessin aikana uuneissamme on vain 115 kuutiometriä. Tekninen tiimimme seuraa grafiittituotteiden lämpötilakenttää kunkin uunin eri alueilla. Alkuvaiheessa matalassa lämpötilassa (0-200 °C) säädämme lämpötilaa ±10 °C:n sisällä ja korkeissa lämpötiloissa (yli 600 °C) ±1 °C:n sisällä. Emme vain valvo lämpötilakenttää eri grafiittihiukkasten välillä, vaan myös kunkin yksittäisen grafiittikappaleen pinta- ja sisälämpötilaa säätelemällä sitä ±3°C:n tarkkuudella. Tarkkailemme 8 lämpötilapistettä kussakin hiiletysuunissa.

Toiseksi, grafitointiprosessin aikana, esimerkkinä 500 kg:n erä, valvomme myös 8 lämpötilapistettä. Grafitisoinnin jälkeen otamme satunnaisesti näytteitä ja testaamme tuhoavasti 24 pistettä X-, Y- ja Z-akselilla varmistaaksemme tasaisuuden. Suurin osa alan yrityksistä testaa vain X-akselia tai korkeintaan XY-akselia, tyypilliset valmistajat testaavat vain 6-8 pistettä ja paremmat 12 pistettä. Testaamme 24 pistettä.

Puolijohteiden lämpökentässä grafiittielektrodi on kriittinen osa lämmityskokoonpanoa, joka ohjaa sähkövirran lämmitysvyöhykkeelle ja mahdollistaa lämpötilan hallitun jakautumisen tietyn prosessin, kuten hapettumisen, diffuusion, LPCVD:n tai epitaksin, välillä. Grafiittielektrodin on toimittava luotettavasti yli 2000 °C:n lämpötiloissa ja estettävä samalla hapettumista, vääntymistä tai lämmityskohdan kontaminaatiota.

Semicorex-grafiittielektrodien sähkönjohtavuus on erinomainen, mikä mahdollistaa tehokkaan tehonsiirron minimaalisilla häviöillä, ja niillä on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä mahdollistaa nopean tasaisen lämmönsiirron uunissa. Alhaisen lämpölaajenemisen ja suuren mekaanisen lujuuden yhdistelmä vähentää muodonmuutoksia ja halkeilua lämpösyklin aikana, mikä takaa vakaan käyttäytymisen pitkän käyttöiän ajan. Jokainen elektrodi on koneistettu tiukoilla mittatoleransseilla ja hienolla pinnalla, jotta varmistetaan tasainen kosketus ja mitätön sähkövastus kosketuspinnalla.

Puolijohdeprosessien erityisvaatimukset huomioon ottaen Semicorex voi suunnitella mukautettuja elektrodimalleja, jotka sopivat kaikkiin uunikokoonpanoihin ja tehomäärittelyihin. Saatavilla on erilaisia ​​halkaisijoita, pituuksia, liitostyyppejä tai pintakäsittelyjä. Tarvittaessa voidaan levittää pinnoitemateriaaleja, kuten piikarbidia tai pyrolyyttistä hiiltä, ​​tukemaan hapettumiskestävyyttä ja käyttöikää runsaasti happipitoisissa tai reaktiivisissa kaasuympäristöissä.

Korkea puhtausgrafiittimateriaaliavarmistaa uskomattoman alhaiset metalliepäpuhtaudet (ja kaasumaiset epäpuhtaudet), usein yli 99,999 % hiiltä. Tällaiset vähäiset epäpuhtaudet auttavat välttämään puolijohdekiekkojen kontaminoitumista lämpökäsittelyn aikana. Yhdistettynä merkittävään työstösyvyyteen ja kiillotettuun pintakäsittelyyn, Semicorex Graphite Electrodes täyttää sekä mekaanisen että kemiallisen stabiilisuuden huippuluokan kiekkojen valmistustekniikoissa.

Semicorex-grafiittielektrodien sähkönjohtavuus on erinomainen, mikä mahdollistaa tehokkaan tehonsiirron minimaalisilla häviöillä, ja niillä on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä mahdollistaa nopean tasaisen lämmönsiirron uunissa. Alhaisen lämpölaajenemisen ja suuren mekaanisen lujuuden yhdistelmä vähentää muodonmuutoksia ja halkeilua lämpösyklin aikana, mikä takaa vakaan käyttäytymisen pitkän käyttöiän ajan. Jokainen elektrodi on koneistettu tiukoilla mittatoleransseilla ja hienolla pinnalla, jotta varmistetaan tasainen kosketus ja mitätön sähkövastus kosketuspinnalla.