Lasimainen hiilipäällyste

Semicorex -lasinen hiilipäällysteinen huopa toimii sisäeristyskerroksena piikarbidien epitaksiaalireaktorissa. Se on korkean suorituskyvyn eristysmateriaali, joka on suunniteltu edistyneisiin lämpöympäristöihin. Tämä tuote ylittää tyypilliset puolijohteiden korkean lämpötilan valmistushaasteet tarjoamalla parempia ratkaisuja sen kevyiden ja erinomaisten lämpöeristysominaisuuksien vuoksigrafiitti, yhdessä pinnan eheyden ja kemiallisen inertin kanssa, joka on annettu lasimaisella hiilipinnoitteella.

Perusmateriaali on korkea puhtausgrafiittivalitsi alhaisen lämmönjohtavuuden korkean lämpötilan stabiilisuuden ja kevyen painon. Normaalilla grafiittisella huopalla on yleensä pintakuitujen leviäminen ja hiukkasten muodostuminen kohonneissa lämpötiloissa, jotka voivat saastuttaa prosessiympäristön herkillä epitaksiaalijärjestelmillä. Tämän ongelman lieventämiseksi grafiittisuhteen pinta on tasaisesti päällystetty lasimaisen hiilen kerroksella-tiheä, ei-huokoinen hiilen muoto, joka tunnetaan sen kemiallisesta inerttistään, alhaisesta kaasun läpäisevyydestä ja poikkeuksellisesta lämpöstabiilisuudesta.

Lasimainen hiili on grafiitisoitu hiili, joka yhdistää lasin ja keramiikan ominaisuudet. Toisin kuin kiteinen grafiitti, se on amorfinen, lähes 100% SP2-hybridisoitunut hiilimateriaali, joka muodostuu polymeroituneiden orgaanisten esiasteiden, kuten fenolihartsin, furfuryylialkoholihartsin jne., Korkean lämpötilan sintraamisella inertissä kaasu-ilmapiirissä. Koska se on musta kaikkialla ja siinä on lasillinen sileä pinta, sitä kutsutaan lasimaiseksi hiiliksi.

Lasimainen hiilipäällyste voi eliminoida uunihiukkasten muodostumisen, tarjota suljettuja pintahuokosia, sillä on erinomaiset demolding -ominaisuudet ja vähentää läpäisevyyttä, mikä tekee tästä materiaalista sopivan jatkuviin valumuotteihin ja tuotteisiin puolijohdeteollisuudessa. Tällä materiaalilla on laaja valikoima sovelluksia puolijohdeteollisuudessa, etenkin grafiittiosissa, kuten yksikristallin piin vetolaitteiden komponentit, epitaksiaaliset kasvukomponentit, jatkuvat valuhuottit, lasitiivisteet jigit jne.

Lasimaisella hiilellä on korkea lämpötilankestävyys jopa 3000 ° C: seen inertissä kaasussa tai tyhjiössä, ja toisin kuin kaikki muut keraamiset ja metalliset korkean lämpötilan materiaalit, lasimaisen hiilen lujuus kasvaa lämpötilan noustessa jopa 2700 kt, eikä siitä tule haurasta ja sillä on erittäin korkea lämpö iskunkestävyys, joten lyhyet lämmitys- ja jäähdytysajat eivät ole ongelmia. Lisäksi lasimaisella hiilellä on pieni massa, alhainen lämmön imeytyminen ja alhainen lämmön laajeneminen, joten se sopii melkein kaikkiin korkean lämpötilan sovelluksiin.

Lasimaisella hiilipinnoitteella on ratkaiseva rooli grafiitin huovan pintahuokosten tiivistämisessä, mikä vähentää merkittävästi hiukkasten ja hiilipölyn vapautumista toiminnan aikana. Tämä on erityisen kriittistä sic -epitaksiaalisissa kasvuprosesseissa, joissa jopa minimaalinen saastuminen voi vaarantaa kiekkojen laadun ja laitteen suorituskyvyn. Kapseloimalla huokoisen rakenteen sileällä, kovalla lasimaisella hiilikuorella, pinnoite varmistaa puhtaan ja vakaan lämpöympäristön reaktiokammiossa.

Lasimaisen hiilipinnoitteen keskeiset edut sisältävät:

Vähentynyt hiukkasten leviäminen: tiheä päällystys lukittuu tehokkaasti löysissä kuiduissa ja hiukkasissa, estäen kiekkojen ja reaktorikomponenttien saastumisen.

Korkea lämmön stabiilisuus: Sekä grafiitti huopa että lasinen hiili kestävät lämpötiloja, jotka ylittävät 2000 ° C inertillä tai tyhjiöilmapiirissä, mikä tekee tuotteesta ihanteellisen korkean lämpötilan SIC-prosesseihin.

Kemiallinen inertti: Lasimainen hiilen pinta on kestävä useimmille hapoille ja syövyttäville kaasuille, pidentäen eristyskerroksen toiminnan käyttöikää ankarissa olosuhteissa.

Parannettu prosessin johdonmukaisuus: Minimoitu hiukkasten muodostuminen myötävaikuttaa vakaampaan ja toistettavissa olevaan epitaksiaalikasvuympäristöön, mikä on välttämätöntä korkealaatuisten sic-kiekkojen tuottamiseksi.

Lasimaisen hiilipinnoitteen sovellukset ulottuvat pääasiassa sic -epitaksiaalisten kasvuuunien kanssa, joissa sitä käytetään lämmöneristyskerroksena kuuman vyöhykkeen sisällä. Tuote on tyypillisesti asennettu vuorausmateriaaliksi ylä- tai alempaan eristyspinoon, missä se tarjoaa sekä lämmönsuojauksen että puhtauden varmuuden.