Sulatettu kvartsijalusta

Puolijohdevalmistuksessa Fused Quartz Jalusta toimii tukirakenteena kvartsiveneelle, joka pitää kiekkoja. Ylläpitämällä tasaisen lämpötilan se auttaa saavuttamaan tasaisen ohutkalvopinnoituksen, joka on kriittinen tekijä puolijohdelaitteiden suorituskyvyn ja luotettavuuden kannalta. Jalusta varmistaa, että lämmön ja valon jakautuminen prosessikammiossa on tasainen, mikä parantaa pinnoitusprosessin yleistä laatua.

Sulatetun kvartsimateriaalin edut

1.Korkean lämpötilan kesto

Fused Quartz Jalustan pehmenemispiste on noin 1730°C, joten se kestää pitkäaikaista käyttöä 1100°C - 1250°C lämpötiloissa. Lisäksi se kestää lyhytaikaisen altistuksen jopa 1450 °C:n lämpötiloille.

2. Korroosionkestävyys

Fused Quartz -jalusta on kemiallisesti inertti useimpien happojen suhteen, lukuun ottamatta fluorivetyhappoa. Sen haponkestävyys ylittää keramiikan 30 kertaa ja ruostumattoman teräksen 150 kertaa. Korkeissa lämpötiloissa mikään muu materiaali ei pysty vastaamaan sulatetun kvartsin kemiallista stabiilisuutta, joten se on ihanteellinen valinta ankariin kemiallisiin ympäristöihin.

3. Lämpöstabiilisuus

Yksi Fused Quartz -jalustan erottuvista ominaisuuksista on sen minimaalinen lämpölaajenemiskerroin. Tämän ominaisuuden ansiosta se kestää suuria lämpötilamuutoksia halkeilematta. Se voidaan esimerkiksi lämmittää nopeasti 1100 °C:seen ja upottaa sitten veteen huoneenlämpöiseen vaurioitumatta – olennainen ominaisuus korkean jännityksen valmistusprosesseissa.

Valmistusprosessi

Fused Quartz -jalustan valmistusprosessia valvotaan huolellisesti korkeimpien laatustandardien varmistamiseksi. Jalustat valmistetaan lämpömuovaus- ja hitsausprosesseilla, jotka suoritetaan vähintään 10 000 luokan puhdastilaympäristöissä. Seuraava puhdistus ultrapuhtaalla vedellä (18 MΩ)varmistaa lisäksi tuotteen puhtauden ja suorituskyvyn. Jokainen sulatettu kvartsijalusta käy läpi tarkan tarkastuksen, puhdistuksen ja pakkaamisen vähintään 1 000 luokan puhdastilassa täyttääkseen puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset.

Erittäin puhdas läpinäkymätön kvartsimateriaali

Fused Quartz Jalusta käyttää erittäin puhdasta läpinäkymätöntä kvartsimateriaalia estääkseen tehokkaasti lämmön ja valon. Tämän materiaalin ainutlaatuiset ominaisuudet parantavat jalustan kykyä ylläpitää vakaata ja tasaista lämpötilaa prosessikammiossa, mikä varmistaa tasaisen laadun ohutkalvopinnoitteelle kiekkoille.

Laaja valikoima sovelluksia

Fused Quartz -jalustan poikkeukselliset ominaisuudet tekevät siitä sopivan erilaisiin puolijohdeteollisuuden sovelluksiin. ALD-prosesseissa se tukee ohutkalvon kasvun tarkkaa hallintaa atomitasolla, mikä on välttämätöntä kehittyneiden puolijohdelaitteiden tuotannossa. LPCVD-prosessien aikana jalustan lämpöstabiilisuus ja valonesto-ominaisuudet edistävät tasaista kalvon muodostumista, mikä parantaa laitteen suorituskykyä ja tuottoa.

Diffuusioprosesseissa Fused Quartz Jalustan korkeiden lämpötilojen kestävyys ja kemiallinen inerttiys takaavat puolijohdemateriaalien luotettavan ja tasaisen dopingin. Nämä prosessit ovat kriittisiä puolijohdelaitteiden sähköisten ominaisuuksien määrittelyssä, ja korkealaatuisten materiaalien, kuten sulatetun kvartsin, käyttö on välttämätöntä optimaalisen tuloksen saavuttamiseksi.