Sulatettu kvartsirakennus

Semicorex -sulatettu kvartsimurhat ovat puolijohteiden valmistuksessa käytettyjä arvokkaita kulutustarvikkeita, joilla on merkittävä puhtaus, lämpöstabiilisuus ja mekaaninen lujuus äärimmäisissä lämpötilaympäristöissä. Nämä upokkaat valmistetaan korkeasta puhtaasta piidioksidihiekasta, joka on sulatettu yhteen erittäin hallittuun sulamistekniikkaan korkeimman käytettävissä olevan tiheyden saavuttamiseksi, ja sen rakenteessa on enimmäkseen homogeeninen materiaali, jolla on rajoitetut sulkeumat tai kuplat, jotka ovat erittäin toistettavia kristallipullo- ja kiekkojen tuotantoihin. Näillä upokkaisilla on erittäin alhainen saastumisaste, mikä tekee niistä ihanteellisia prosesseihin, joissa materiaalin puhtaus vaikuttaa suoraan laitteen satoon ja suorituskykyyn.

Sulautuneita kvartsirakenteita käytetään puolijohdetuotannossa Czochralski (CZ) -menetelmään yhden kidisen piin kasvun suhteen. Sulatetuissa kvartsin upokkaissa on korkea lämpövastus, jonka avulla ne voivat kestää lämpötiloja sulattaa polysiliconia, jotka ovat usein yli 1400 ° C.  Lisäksi sulatetut kvartsirakenteet ovat kemiallisesti inerttejä, eivätkä reagoi polysiliconin kanssa tavalla, joka vaikuttaisi piin puhtauteen.  Sulatetut kvartsirakenteet voivat käydä läpi erittäin merkittävän lämpösyklin menettämättä rakenteellista eheyttä, ja tämä voi tarjota tasaisen tilan siementen kasvulle kiderakenteeseen, mikä saavuttaa tarvittavan yhdenmukaisuuden puolijohdekiekkoissa.

Sesulatettu kvartsiOptiset ominaisuudet ja mekaaniset ominaisuudet tuottavat ainutlaatuisia etuja puolijohdeympäristössä. Lämpölaajennuksen alhainen kertoimet lieventävät lämpöokkia ja mitat epäjohdonmukaisuutta, kun taas alhainen lämmönjohtavuus auttaa säilyttämään lämpötilagradientit kidekasvuuunissa suhteessa kiteeseen. Upokkaan sisäpinta, joka on sileä menneisyyden lämpötila, minimoi hiukkasten muodostumisen ja edistää tasaista sulamakäyttäytymistä, joka suojaa edelleen kasvatettujen kiteiden puhtautta.

Jokaisen sulatettua kvartsin upottavan konformaation varmistamiseksi käytetyt valmistusprosessit koostuvat tiukasta mittatoleranssista ja pintaominaisuuksista. Raaka -aineiden valinta seulotaan metallisten epäpuhtauksien poistamiseksi, sulaminen tapahtuu erikoistuneessa ympäristössä, joka kieltää ilmakehän kaasun ja/tai hiukkasten saastumisen. Puolijohdesovelluksen perusteella upotukset voidaan valmistaa useisiin halkaisijoihin ja seinämän paksuuksiin pienistä tutkimuksen upokkaista suuriin halkaisijaltaan upotuksiin, jotka pystyvät tuottamaan 300 mm kiekkoja.

Vaikka sulatetun kvartsin upokkaan ainutlaatuiset ominaisuudet parantavat jo kestävyyttä ja suorituskykyä, ylimääräisiä erikoistuneita pintakäsittelyjä tai pinnoitteita voidaan käyttää tarvittaessa. Esimerkiksi joihinkin prosesseihin liittyy sisäisiä piikerroksen kerrostumia upokkaan elinkaaren parantamiseksi tai hapen määrän minimoimiseksi sulaan piille. Nämä parannukset auttavat puolijohdetuotannon tehokkuutta, jos prosessissa käytetään kvartsin upotetta, koska se vähentää korvaustaajuutta ja johtaa suurempiin kiteiden saannoihin.

Sulautuneilla kvartsirakenteellisilla on myös rooli uusien prosessien tutkimuksessa ja kehittämisessä puolijohdeteollisuudessa. Sen sopeutumiskyky antaa insinööreille kyvyn tutkia vaihtoehtoisia kidekasvatustekniikoita, materiaaleja doping -tekniikoita tai uusia puolijohdemateriaaleja piin ulkopuolella, kuten gallium -arsenidi tai piiharbidi. Sulatetun kvartsin upokan kyky kestää äärimmäiset kemialliset ja lämpöolosuhteet antavat insinööreille lopullisen varmuuden sekä massatuotannossa että kokeellisessa valmistuksessa.

PuolikuorikvartsiUpokasta on tullut kriittisiä työkaluja nykypäivän puolijohdevalmistuksessa, ja niissä on korkea puhtaus, erinomaiset lämpöominaisuudet ja uskomattoman rakenteellinen vakaus tiukimpien teollisuusstandardien suhteen. Siten heidän kykynsä tuottaa vikavapaa ja korkean suorituskyvyn puolijohde-kiekot vaikuttavat suoraan elektronisten laitteiden luotettavuuteen ja suorituskykyyn ympäri maailmaa.