CVD -pinnoituskiekkopidike

Semicorex CVD -päällystyskiekkojen haltija on korkean suorituskyvyn osa, joka on suunniteltu tukemaan ja pitämään kiekkoja puolijohdemateriaalien tarkan kasvun aikana epitaksiprosesseilla. Se on päällystetty tantaalikarbidilla (TAC), mikä myötävaikuttaa sen erinomaiseen kestävyyteen ja luotettavuuteen vaativissa olosuhteissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

Tantaalikarbidipinnoite: Kiekkopidikepinnoite tantaalikarbidilla (TAC) johtuu sen kovuudesta, kulutuskestävyydestä ja lämpöstabiilisuudesta. Tämä päällyste myötävaikuttaa merkittävästi tuotteen kykyyn vastustaa ankaria kemiallisia ympäristöjä sekä korkeita lämpötiloja ja löytää sovelluksen laakerin tarkalleen, mitä puolijohteiden valmistuksessa vaaditaan.

Superkriittinen pinnoitustekniikka: Pinnoitetta sovelletaan ylikriittisellä nesteen laskeutumismenetelmällä, joka takaa TAC: n tasaisen ja tiheän kerroksen. Edistynyt pinnoitustekniikka tarjoaa paremman tarttuvuuden ja vikojen vähentämisen, mikä tarjoaa korkealaatuisen, pitkäaikaisen pinnoitteen varmuudella pitkäikäisyydellä.

Pinnoitteen paksuus: TAC -pinnoite voi saavuttaa jopa 120 mikronin paksuuden, mikä tarjoaa ihanteellisen kestävyyden ja tarkkuuden tasapainon. Tämä paksuus varmistaa, että kiekkojen pidike kestää korkeita lämpötiloja, paineita ja reaktiivisia ympäristöjä vaarantamatta sen rakenteellista eheyttä.

Erinomainen lämpöstabiilisuus: Tantaalikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, jolloin kiekkojen pidike voi suorittaa luotettavasti puolijohdetieteellisille epitaksiprosesseille tyypillisissä korkean lämpötilan olosuhteissa. Tämä ominaisuus on ratkaisevan tärkeä johdonmukaisten tulosten ylläpitämiseksi ja puolijohdemateriaalin laadun varmistamiseksi.

Korroosio- ja kulutuskestävyys: TAC -pinnoite tarjoaa erinomaisen vastustuskyvyn korroosiolle ja kulumiselle varmistamalla, että kiekkojen pidike voi kestää altistumisen reaktiivisille kaasuille ja kemikaaleille, joita yleisesti löytyy puolijohdeprosesseissa. Tämä kestävyys pidentää tuotteen käyttöikää ja vähentää usein korvaamisten tarvetta, mikä parantaa toimintatehokkuutta.

Sovellukset:

CVD -päällystyskiekkopidike on suunniteltu erityisesti puolijohde -epitaksiprosesseihin, joissa tarkka ohjaus ja materiaalien eheys ovat välttämättömiä. Sitä käytetään tekniikoissa, kuten molekyylisäteen epitaksi (MBE), kemiallinen höyryn laskeuma (CVD) ja metalli-orgaaninen kemiallinen höyryn laskeuma (MOCVD), joissa kiekkojen haltijan on kestettävä äärimmäiset lämpötilat ja reaktiiviset ympäristöt.

Puolijohteiden epitaksissa tarkkuus on ratkaisevan tärkeä korkealaatuisten ohutkalvojen kasvattamiseksi substraatilla. CVD-päällystyskiekkojen haltija varmistaa, että kiekkoja tuetaan turvallisesti ja ylläpidetään optimaalisissa olosuhteissa, mikä edistää korkealaatuisten puolijohdemateriaalien johdonmukaista tuotantoa.

Semicorex CVD -päällystyskiekkopidike on suunniteltu huippuluokan materiaaleilla ja edistyneellä päällysteteknologialla puolijohde-epitaksin korkeiden vaatimusten täyttämiseksi. Superkriittisen nesteen laskeutumisen käyttö paksulle, tasaiselle TAC -pinnoitteelle varmistaa vertaansa vailla olevan kestävyyden, tarkkuuden ja pitkäikäisyyden. Ylivoimaisella lämpö- ja kemiallisella resistanssillaan kiekkojen haltijamme on suunniteltu tuottamaan luotettava suorituskyky haastavimmissa ympäristöissä, mikä auttaa parantamaan puolijohdevalmistusprosessien tehokkuutta.